-2B型烘膠臺在半導(dǎo)體工藝制備過程中,主要用于光刻工藝中的前烘和堅膜,具有烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點;可長時間連續(xù)穩(wěn)定工作,可廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)。
烘膠板采用不銹鋼材料制造。
烘膠板規(guī)格: ≥F200mm
烘烤溫度: 室溫~200℃
控溫精度: ±1℃
控溫形式: 智能溫控儀PID調(diào)節(jié),自動測溫,控溫。
輸入電源:AC 220V/240V 5OHz
整機(jī)功率:600W
整機(jī)重量:10Kg